Preview

Надежность

Расширенный поиск
Полноэкранный режим

Для цитирования:


Шахмаева А.Р., Кардашова Г.Д., Казалиева Э., Евдулов Д.В. Технология пескоструйной обработки кремниевой пластины при изготовлении полупроводниковых транзисторов. Надежность. 2022;22(4):23-27. https://doi.org/10.21683/1729-2646-2022-22-4-23-27

For citation:


Shakhmaeva A.R., Kardashova G.D., Kazalieva E., Yevdulov D.V. Process for sandblasting silicon slabs as part of semiconductor transistor manufacture. Dependability. 2022;22(4):23-27. (In Russ.) https://doi.org/10.21683/1729-2646-2022-22-4-23-27



Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-2646 (Print)
ISSN 2500-3909 (Online)