Preview

Надежность

Расширенный поиск

НАДЕЖНОСТЬ ПЬЕЗОСКАНЕРОВ В ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ

https://doi.org/10.21683/1729-2646-2013-0-1-92-114

Полный текст:

Аннотация

В статье рассмотрены вопросы надёжности систем из многофункциональных пьезомодулей, которая зависит от системы автоматического управления пьезосканерами в целом (и отдельными пьезомодулями), а также от надёжности работы самих пьезомодулей, в которых реализуется преобразование электрической энергии в механическую.

Об авторах

В. А. Васин
Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Россия

кандидат технических наук, доцент, докторант кафедры ТСЭ (Технологические системы электроники),

vacuumwa@ list.ru, vacuumwa@ya.ru



Е. Н. Ивашов
Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Россия

доктор технических наук, профессор, профессор кафедры ТСЭ (Технологические системы электроники),

vacuumwa@ list.ru, vacuumwa@ya.ru



С. В. Степанчиков
Московский государственный институт электроники и математики (технический университет)
Россия

кандидат технических наук, доцент, доцент и докторант кафедры ТСЭ (Технологические системы электроники),

vacuumwa@ list.ru, vacuumwa@ya.ru



Список литературы

1. Howland Rebecca, Benatar Lisa. A Practical Guide to Scanning Probe Microscopy / Project Editor and Booklet Designer: Christy Symanski // Copyright 1996 by Park Scientific Ihsnruments. – 76 p.

2. Быков В.А., Лазарев М.И., Саунин С.А. Сканирующая зондовая микроскопия для науки и промышленности. // Электроника: наука, технология, бизнес, № 5, с. 7 - 14 (1997).

3. Быков В.А. Сканирующая зондовая микроскопия атомного разрешения и моделирования процессов нанотехнологии // Вторая Международная научно-техническая конференция “Микроэлектроника и информатика”: Тезисы докладов. – Москва-Зеленоград, 23-24 ноября 1995 г. – С. 131.

4. Быков В.А. Технологии и оборудование для экспериментальных работ в области нанофизики и наноэлектроники// Научная сессия МИФИ – 2010. Сборник научных трудов. – 2010, Т.2. – С.119.

5. Рабек Я. Экспериментальные методы в фотохимии и фотофизике. В 2-х томах. Т. 1. Пер. с англ. – М.: Мир, 1985. – 608 с.

6. Сушхара К., Мори И., Тобзе Т., Ито Т., Табста М., Синодзаки Т. Пьезоэлектрический столик с двумя поступательными и одной вращательной степенями свободы для субмикронных литографических систем // Приборы для научных исследований, 1989.

7. Информационные технологии в проектировании объектов электронного машиностроения: Монография. В 5-ти кн. Кн. 4. В.А. Васин, Е.Н. Ивашов, А.Ю. Павлов, С.В. Степанчиков. Информационная технология в проектировании сканеров зондовых микроскопов. – М.: Издательство НИИ ПМТ, 2011. – 253 с.

8. Раинкшкс К., Ушаков И.А. Оценка надежности систем с использованием графов. – М.: Радио и связь, 1988.

9. Клейнрок Л. Теория массового обслуживания. – М.: Машиностроение, 1979.

10. Слободин М.Ю., Царев Р.Ю. Компьютерная поддержка многоатрибутивных методов выбора и принятий решения при проектировании корпоративных информационно-управляющих систем. – СПб.: Инфо-да, 2004. – 223 с.


Для цитирования:


Васин В.А., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В. НАДЕЖНОСТЬ ПЬЕЗОСКАНЕРОВ В ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ. Надежность. 2013;(1):92-114. https://doi.org/10.21683/1729-2646-2013-0-1-92-114

For citation:


Vasin V.A., Ivashov E.N., Stepanchikov S.V. RELIABILITY OF PIEZOELECTRIC SCANNERS IN PROBE MICROSCOPY. Dependability. 2013;(1):92-114. (In Russ.) https://doi.org/10.21683/1729-2646-2013-0-1-92-114

Просмотров: 138


Creative Commons License
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.


ISSN 1729-2646 (Print)
ISSN 2500-3909 (Online)