sustainНадежностьDependability1729-26462500-3909RAMS Journal Limited liability company10.21683/1729-2646-2013-0-1-92-114sustain-12Research ArticleСТРУКТУРНАЯ НАДЕЖНОСТЬ. ТЕОРИЯ И ПРАКТИКАSTRUCTURAL RELIABILITY. THE THEORY AND PRACTICEНАДЕЖНОСТЬ ПЬЕЗОСКАНЕРОВ В ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИRELIABILITY OF PIEZOELECTRIC SCANNERS IN PROBE MICROSCOPYВасинВ. А.VasinV. A.

кандидат технических наук, доцент, докторант кафедры ТСЭ (Технологические системы электроники),

vacuumwa@ list.ru, vacuumwa@ya.ru

PhD, Associate professor of the Chair of Technological Electronic Systems,

vacuumwa@list.ru, vacuumwa@ya.ru

ienmiem@mail.ruИвашовЕ. Н.IvashovE. N.

доктор технических наук, профессор, профессор кафедры ТСЭ (Технологические системы электроники),

vacuumwa@ list.ru, vacuumwa@ya.ru

Doctor of technical sciences, Professor of the Chair of Technological Electronic Systems,

vacuumwa@list.ru, vacuumwa@ya.ru

ienmiem@mail.ruСтепанчиковС. В.StepanchikovS. V.

кандидат технических наук, доцент, доцент и докторант кафедры ТСЭ (Технологические системы электроники),

vacuumwa@ list.ru, vacuumwa@ya.ru

PhD, Associate professor and doctoral candidate of the Chair of Technological Electronic Systems,

vacuumwa@list.ru, vacuumwa@ya.ru

ienmiem@mail.ruМосковский государственный институт электроники и математики (технический университет)РоссияMoscow State Institute of Electronics and Mathematics (technical university)Russian Federation2013050720160192114Copyright © Васин В.А., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В., 20162016Васин В.А., Ивашов Е.Н., Степанчиков С.В.Vasin V.A., Ivashov E.N., Stepanchikov S.V.Данная работа распространяется под лицензией Creative Commons Attribution 4.0.This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 License.https://www.dependability.ru/jour/article/view/12

В статье рассмотрены вопросы надёжности систем из многофункциональных пьезомодулей, которая зависит от системы автоматического управления пьезосканерами в целом (и отдельными пьезомодулями), а также от надёжности работы самих пьезомодулей, в которых реализуется преобразование электрической энергии в механическую.

The paper considers the issues related to the reliability of systems made up of multifunctional piezoelectric modules which depends on an automated system of control of piezoelectric scanners as a whole (and of individual piezoelectric modules), as well as on the reliability of piezoelectric modules themselves wherein electrical energy converts into mechanical energy.

сканирующая зондовая микроскопиямногофункциональный пьезомодульнадёжность пьезосканеравероятность безотказной работыотносительная погрешностьscanning probe microscopymultifunctional piezoelectric modulereliability of piezoelectric scannerprobability of failure-free operationrelative inaccuracyReferencesHowland Rebecca, Benatar Lisa. A Practical Guide to Scanning Probe Microscopy / Project Editor and Booklet Designer: Christy Symanski // Copyright 1996 by Park Scientific Ihsnruments. – 76 p.Howland Rebecca, Benatar Lisa. A Practical Guide to Scanning Probe Microscopy / Project Editor and Booklet Designer: Christy Symanski // Copyright 1996 by Park Scientific Instruments. – 76 p.Быков В.А., Лазарев М.И., Саунин С.А. Сканирующая зондовая микроскопия для науки и промышленности. // Электроника: наука, технология, бизнес, № 5, с. 7 - 14 (1997).Bykov В.А., Lazarev M.I., Saunin S.A. Scanning probe microscopy for science and industry. // Electronics: science, technology, business, № 5, p. 7 – 14 (1997).Быков В.А. Сканирующая зондовая микроскопия атомного разрешения и моделирования процессов нанотехнологии // Вторая Международная научно-техническая конференция “Микроэлектроника и информатика”: Тезисы докладов. – Москва-Зеленоград, 23-24 ноября 1995 г. – С. 131.Bykov V.A. Scanning probe microscopy of atomic resolution and modeling of processes for molecular nanotechnology // the Second International scientific and technical conference “Microelectronics and computer science”: Thesis of reports. – Moscow-Zelenograd, 23-24 November, 1995 – p. 131.Быков В.А. Технологии и оборудование для экспериментальных работ в области нанофизики и наноэлектроники// Научная сессия МИФИ – 2010. Сборник научных трудов. – 2010, Т.2. – С.119.Bykov V.A. Technology and equipment for experimental works in the field of nanophysics and nanoelectronics // Scientific session of MiFi – 2010. The collection of proceedings. – 2010, V.2. – p.119.Рабек Я. Экспериментальные методы в фотохимии и фотофизике. В 2-х томах. Т. 1. Пер. с англ. – М.: Мир, 1985. – 608 с.Rabek Y.E. Experimental approaches in photochemistry and the photophysics. 2 volumes.V. 1. Tr. from English – М.: the World, 1985. – 608 p.Сушхара К., Мори И., Тобзе Т., Ито Т., Табста М., Синодзаки Т. Пьезоэлектрический столик с двумя поступательными и одной вращательной степенями свободы для субмикронных литографических систем // Приборы для научных исследований, 1989.Sushchara K., Mory I., Tobse T., Ito T., Tabsta M., Cinodzaky T. Piezoelectric little table with two forward and one rotary degrees of freedom for submicronic lithographic systems // Devices for scientific researches, 1989.Информационные технологии в проектировании объектов электронного машиностроения: Монография. В 5-ти кн. Кн. 4. В.А. Васин, Е.Н. Ивашов, А.Ю. Павлов, С.В. Степанчиков. Информационная технология в проектировании сканеров зондовых микроскопов. – М.: Издательство НИИ ПМТ, 2011. – 253 с.Information technologies in designing objects of electronic mechanical engineering: the Monography. 5 books. Book 4. V.A.Vasin, E.N.Ivashov, A. U..Pavlov, S.V.Stepanchikov. Information technology in designing scanners for probe microscopes. – М.: Publishing house of scientific research institute PMT, 2011. – 253 p.Раинкшкс К., Ушаков И.А. Оценка надежности систем с использованием графов. – М.: Радио и связь, 1988.Rainkshks K., Ushakov I.A. Estimation of systems’ reliability with use of graphs. – М.: Radio and communication, 1988.Клейнрок Л. Теория массового обслуживания. – М.: Машиностроение, 1979.Kleinrok L. The queuing theory. – М.: Mechanical engineering, 1979.Слободин М.Ю., Царев Р.Ю. Компьютерная поддержка многоатрибутивных методов выбора и принятий решения при проектировании корпоративных информационно-управляющих систем. – СПб.: Инфо-да, 2004. – 223 с.Slobodin M.Y., Zarev R.U. Computer support of multiattributive methods of choice and decisionmaking at designing corporate information-managerial systems. – St. Petersburg: Info., 2004. – 223p.

The authors declare that there are no conflicts of interest present.